3ω法加热／测温膜中温度波解析及其在微／纳米薄膜导热系数测量中的应用

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	3ω法加热／测温膜中温度波解析及其在微／纳米薄膜导热系数测量中的应用
	王照亮 1; 唐大伟 1; 贾涛 1; 毛安民 2
	2007
发表期刊	物理学报
ISSN	1000-3290
卷号	056 期号:002 页码:747
摘要	给出了3ω法测试系统中描述薄膜表面加热／测温膜中温度波动的级数形式解，并将复数温度波动的实部和虚部分开表示．利用该解分析了交流加热频率、加热膜宽度和材料热物性的组合参数对加热膜温度波动幅度的影响．并根据此解对测量原理的数学模型进行了修正，建立了相应的3ω测试系统。首先测定了厚度为500nm SiO2薄膜的导热系数，验证了实验系统的合理性．加大了测试频率，利用级数模型在高频段直接得到SiO2薄膜的导热系数，结合低频段的数据同时确定了Si基体的导热系数．利用级数解分析测试了激光晶体Nd：YAG（111）面上多层ZrO2／SiO2增透膜的导热系数，测试的ZrO2薄膜的导热系数比体材料小．进行了不确定度分析．结果表明，提出的分析方法可以有效研究微器件表面薄膜结构的导热性能．
语种	英语
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.amss.ac.cn/handle/2S8OKBNM/37576
专题	中国科学院数学与系统科学研究院
作者单位	1.中国科学院工程热物理研究所 2.中国科学院数学与系统科学研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	王照亮,唐大伟,贾涛,等. 3ω法加热／测温膜中温度波解析及其在微／纳米薄膜导热系数测量中的应用[J]. 物理学报,2007,056(002):747.
APA	王照亮,唐大伟,贾涛,&毛安民.(2007).3ω法加热／测温膜中温度波解析及其在微／纳米薄膜导热系数测量中的应用.物理学报,056(002),747.
MLA	王照亮,et al."3ω法加热／测温膜中温度波解析及其在微／纳米薄膜导热系数测量中的应用".物理学报 056.002(2007):747.