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3ω法加热/测温膜中温度波解析及其在微/纳米薄膜导热系数测量中的应用
王照亮1; 唐大伟1; 贾涛1; 毛安民2
2007
Source Publication物理学报
ISSN1000-3290
Volume056Issue:002Pages:747
Abstract给出了3ω法测试系统中描述薄膜表面加热/测温膜中温度波动的级数形式解,并将复数温度波动的实部和虚部分开表示.利用该解分析了交流加热频率、加热膜宽度和材料热物性的组合参数对加热膜温度波动幅度的影响.并根据此解对测量原理的数学模型进行了修正,建立了相应的3ω测试系统。首先测定了厚度为500nm SiO2薄膜的导热系数,验证了实验系统的合理性.加大了测试频率,利用级数模型在高频段直接得到SiO2薄膜的导热系数,结合低频段的数据同时确定了Si基体的导热系数.利用级数解分析测试了激光晶体Nd:YAG(111)面上多层ZrO2/SiO2增透膜的导热系数,测试的ZrO2薄膜的导热系数比体材料小.进行了不确定度分析.结果表明,提出的分析方法可以有效研究微器件表面薄膜结构的导热性能.
Language英语
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.amss.ac.cn/handle/2S8OKBNM/37576
Collection中国科学院数学与系统科学研究院
Affiliation1.中国科学院工程热物理研究所
2.中国科学院数学与系统科学研究院
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GB/T 7714
王照亮,唐大伟,贾涛,等. 3ω法加热/测温膜中温度波解析及其在微/纳米薄膜导热系数测量中的应用[J]. 物理学报,2007,056(002):747.
APA 王照亮,唐大伟,贾涛,&毛安民.(2007).3ω法加热/测温膜中温度波解析及其在微/纳米薄膜导热系数测量中的应用.物理学报,056(002),747.
MLA 王照亮,et al."3ω法加热/测温膜中温度波解析及其在微/纳米薄膜导热系数测量中的应用".物理学报 056.002(2007):747.
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