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Optimization on benzocyclobutene-based CMUT fabrication with an inverse structure 期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2018, 卷号: 281, 页码: 1-8
作者:  Li, Zhenhao;  Na, Shuai;  Chen, Albert I. H.;  Wong, Lawrence L. P.;  Sun, Zhendong;  Liu, Ping;  Yeow, John T. W.
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Capacitive micromachined ultrasonic transducer  Adhesive wafer bonding  Photosensitive benzocyclobutene  Resonator