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纳米集成电路互连线建模和光刻仿真中的大规模并行计算方法 期刊论文
中国科学信息科学, 2016, 卷号: 46, 期号: 10, 页码: 1372
Authors:  朱恒亮;  曾璇;  崔涛;  严昌浩;  张林波
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