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Closed-loop control of a 2-D mems micromirror with sidewall electrodes for a laser scanning microscope system 期刊论文
INTERNATIONAL JOURNAL OF OPTOMECHATRONICS, 2016, 卷号: 10, 期号: 1, 页码: 1-13
作者:  Chen, Hui;  Chen, Albert;  Sun, Wei Jie;  Sun, Zhen Dong;  Yeow, John T. W.
收藏  |  浏览/下载：107/0  |  提交时间：2018/07/30
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