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twistingslidingmodecontrolofanelectrostaticmemsmicromirrorforalaserscanningsystem 期刊论文
ieeecaajournalofautomaticasinica, 2019, 卷号: 6, 期号: 4, 页码: 1060
作者:  Chen Hui;  Sun Zhendong;  Sun Weijie;  Yeow John Tze Wei
收藏  |  浏览/下载：156/0  |  提交时间：2020/01/10