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Highly parallel rigorous simulations of phase-shift masks with a generalized eigen-oscillation spectral element method 期刊论文
JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS, 2009, 卷号: 8, 期号: 3, 页码: 13
作者:  Zong, Ke;  Zeng, Xuan;  Ji, Xia;  Cai, Wei
收藏  |  浏览/下载：92/0  |  提交时间：2018/07/30
lithography simulation  phase-shifting mask  spectral method  eigen oscillations  discontinuous Galerkin method  Schwarz domain decomposition iteration