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On the Disturbance Rejection of a Piezoelectric Driven Nanopositioning System 期刊论文
IEEE ACCESS, 2020, 卷号: 8, 页码: 74771-74781
作者:  Wei, Wei;  Xia, Pengfei;  Xue, Wenchao;  Zuo, Min
收藏  |  浏览/下载：152/0  |  提交时间：2020/06/30
Nanopositioning  Hysteresis  Bandwidth  Robust control  Uncertainty  Estimation error  Nanopositioning  active disturbance rejection control  time-varying extended state observer  variable bandwidth control  noise attenuation